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微波电源及发生器
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2021-12-28 13:33:42
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微波电源及发生器

微波开关电源是基于IGBT高频逆变技术的新型微波电源,集阳极高压电源、灯丝电源和磁场电源(3kW微波电源除外)于一体,为3kW、6kW、10kW、15kW、25kW、75kW、100kW连续波磁控管提供工作条件。该产品用于MPCVD、微波等离子体刻蚀、微波等离子体去胶等领域。
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产品编号
产品系列:
MPS系列
数量
-
+
库存:
0
产品描述
参数
型号定义
主要参数

● 高频逆变技术,功率密度高,体积小,可靠性高

● 响应快、控制精准、稳定性好

● 产品具有恒压、恒功、恒流控制模式

● 所有外部连接件全部采用快插端子和航插,安装维护便捷

● 灯丝电源配置灵活,可内置亦可外置

● 快速打火检测及保护

● 丰富、快速的检测和保护功能

● RS485标准通讯接口

● 采用标准机箱(3U:3kW、6kW,6U:10kW、15kW、25kW),安装方便

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1kW微波电源

3kW微波电源

5kW微波电源

10kW微波电源

15kW微波电源

30kW微波电源

75kW微波电源

100kW微波电源

阳极额定电压电流

4.75kV370mA

5.5kV1000mA

7.2kV1300mA

 

10kV1600mA

12.5kV1800mA

13kV3000mA

18kV4500mA

灯丝额定电压电流

DC3.5V10A

DC6V25A(内置)

DC12V40A(外置)

 

DC15V50A(外置)

DC15V50A(外置)

AC15V110A(外置)

AC15V120A

磁场额定电压电流

-

-

DC20V5A

DC100V5A

DC100V5A

DC100V5A

DC100V5A

DC100V10A

注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。

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