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RHH系列射频电源

RHH系列射频电源依靠成熟的射频发生技术为基础,为客户提供更大的功率、精度更高、响应快速的射频电源。具有相位可设、脉冲可控、数字调谐等功能。适用领域:光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等。
适用工艺:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等。
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产品编号
产品系列:
RHH系列
数量
-
+
库存:
0
产品描述
参数
型号定义
主要参数

● 半砖和机架式安装方式

● 采用全数字控制,具有便捷和丰富的操作菜单

● 频率调谐、脉冲和脉冲同步功能

● 具备CEX相位同步功能

● 完善保护功能

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输入

输入电压:AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(特殊规格可定制)

输入频率:47~63Hz

输出

输出频率: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

调谐范围:±5%

输出功率:1.5~5kW

输出功率调节范围:1~100%

输出阻抗:50Ω+j0

输出接口:N型

输出模式:连续、脉冲

脉冲频率:100Hz~100kHz

占空比: 5~95%

性能指标

功率因数:0.98

频率稳定精度:±0.005%

效率:75%(额定输出时)

谐波:<-45dBc

杂散:<-50dBc

外部控制接口:模拟量、通讯、同步

通信方式:标配RS485通讯接口;可选Ether CAT、工业以太网等

注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。

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