英杰电气中频溅射电源凭借优异的波形调制技术，可实现输出直流、直流脉冲、双向方波、双向梯型波等波形。产品具有输出波形可调，输出频率可选，占空比可调，功率控制精准，以及低能量存储和快速的电弧反应。为镀膜工艺提供便利、精准的控制。产品主要应用于各种薄膜制造工艺，太阳能电池片行业，真空镀膜行业；应用工艺：磁控溅射工艺、孪生靶溅射、管式PECVD。