自动匹配器RM系列

RM系列采用专利算法实现快速匹配，最⼤功率⽀持6kW⽀持混频，双输出⽹络；多种输出形式，可适配各种形式腔体结构。

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产品描述

参数

型号定义

主要参数

● 采⽤FPGA为控制核心，结合优异的算法使调谐更快更精确
● 选⽤⾼精度真空电容，匹配精度更⾼、性能更可靠
● ⽀持⼿/⾃动匹配、预设点模式，实现最快匹配时间<300ms

● 具备电容、相位、幅值、偏压、射频电压、射频电流、阻抗等检测功能，为⼯艺提供更多的参考参数
● 多种功率和频率规格可选，同时可覆盖混频⽹络、双路输出⽹络

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