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RMC系列匹配器

适用于光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等领域。适用于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等工艺。
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产品编号
产品系列:
RMC系列
数量
-
+
库存:
0
产品描述
参数
型号定义
主要参数

● 全数字控制,匹配精度高,匹配时间短
● 采用真空电容,可靠性高,使用寿命长
● 结构紧凑,体积小,安装便捷
● 超宽匹配范围,可定制适配任意负载
● 具有手动/自动匹配功能
● 具有保持和预置设定功能
● 具有通讯功能,可独立连接上位机实时显示负载状态

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输入

控制电压:AC230V±10% 或 DC24V

输入接口:N型、HN、7/16

频率:13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

传输功率:1.5kW~6kW

射频输出电压:4000Vpeak

射频输出电流:25Arms~120Arms

输出

输出接口:7/16、B20N、铜排, 其他规格可定制

 

性能指标

匹配时间:A系:端对端<5s ,预设点到匹配点 1s~3s
C系:端对端<3s ,预设点到匹配点 0.3s~2s

驻波:A系:<1.2 C系:<1.1

阻抗实部:1Ω~200Ω

阻抗虚部:+200j~-200j

负载类型:IPC 或CCP

外形尺寸:根据客户要求定制

注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。

四川英杰电气股份有限公司

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