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2021-12-28 13:35:03
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RMA系列匹配器

可适配于RLS系列射频电源使用,广泛应用于等离子刻蚀、镀膜、等离子清洗、等离子去胶等工艺。单独使用时,可与其他厂家射频电源配套使用。
零售价
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市场价
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产品编号
产品系列:
RMA系列
数量
-
+
库存:
0
产品描述
参数
型号定义
主要参数

● 全数字控制,匹配精度高,匹配时间短

● 采用真空电容,可靠性高,使用寿命长

● 结构紧凑,体积小,安装便捷

● 超宽匹配范围,可定制适配任意负载

● 具有手动/自动匹配功能

● 具有保持和预置设定功能

● 具有通讯功能,可独立连接上位机实时显示负载状态

● 可定制化输出接口

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技术指标

控制电压:AC220V±10%

传输功率:0.5~5kW

频率:2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

匹配时间:端对端<5s,预设点到匹配点<0.5~3s

驻波:<1.2

阻抗实部:5~200Ω

阻抗虚部:+200~-200j

射频输出电压:4000Vpeak

射频输出电流:25~40Arms

输入接口:N型

输出接口:铜排或L29

注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。

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