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300820

RMA系列匹配器

产品特点主要参数型号定义资料下载

射频发生器、自动匹配器

分类:

射频电源

文件大小:

6.3M

时间:

2021-12-28 13:35:03

所属人群:

所有人

射频发生器、自动匹配器

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射频电源

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浏览量:

1000

RMA系列匹配器

可适配于RLS系列射频电源使用，广泛应用于等离子刻蚀、镀膜、等离子清洗、等离子去胶等工艺。单独使用时，可与其他厂家射频电源配套使用。

零售价

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产品编号

产品系列:

RMA系列

数量

库存:

所属分类

射频电源

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产品描述

参数

型号定义

主要参数

● 全数字控制，匹配精度高，匹配时间短

● 采用真空电容，可靠性高，使用寿命长

● 结构紧凑，体积小，安装便捷

● 超宽匹配范围，可定制适配任意负载

● 具有手动/自动匹配功能

● 具有保持和预置设定功能

● 具有通讯功能，可独立连接上位机实时显示负载状态

● 可定制化输出接口

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销售热线：0838-2900585 2900586
售后热线：0838-2900488 0838-2900938
公司总机：0838-6930000
公司传真：0838-2900985
电子邮箱：injet@injet.cn
公司地址：四川省德阳市金沙江西路686号

技术指标	控制电压：AC220V±10%
	传输功率：0.5~5kW
	频率：2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	匹配时间：端对端＜5s，预设点到匹配点＜0.5~3s
	驻波：＜1.2
	阻抗实部：5~200Ω
	阻抗虚部：+200~-200j
	射频输出电压：4000Vpeak
	射频输出电流：25~40Arms
	输入接口：N型
	输出接口：铜排或L29
注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。